- 適用機型
 - 其他規格
 
| Hitachi | 
			
  | 
		
| Hitachi (Oxford) | 
			
  | 
		
| Thermo Fisher | 
			
  | 
		
| BOWMAN | 
			
  | 
		
| ISP | 
			
  | 
		
| Cu (Copper) Foils | |
| Layer Thickness | |
| μin | μm | 
| 4 | 0.10 | 
| 10 | 0.25 | 
| 20 | 0.50 | 
| 40 | 1.0 | 
| 100 | 2.5 | 
| 200 | 5.0 | 
| 300 | 7.5 | 
| 400 | 10 | 
| 500 | 12.5 | 
| 700 | 18 | 
| 800 | 20 | 
| 900 | 23 | 
| 1100 | 28 | 
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